真空體系的簡略介紹及部分名詞

真空體系其實便是真空機組的一個相似的稱呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備，它不見得有一些比如散熱器，冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空體系的肯定是各種零部件齊全。真空使用設備品種繁多，但不管何種真空使用設備都有一套掃除被抽容器內氣體的抽氣體系，以便在真空容器內取得所需求的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽暇時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡略的真空抽氣體系。那么真空體系相比較于機組來說有多少泵組成呢？這個是不確定的，咱們先來認識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵：在真空體系中，用于取得所需求真空度來滿意特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油分散泵便是主泵。

(2)前級泵：用于保持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前裝備的旋片或滑閥泵便是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將體系壓力抽到另一真空泵開始作業的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，便是粗油泵。

(4)保持泵：在真空體系中，氣量很小時，不能有效地使用前級泵。為此裝備一種容量較小的輔佐泵來保持主泵作業，此泵叫保持泵。如分散泵出口處配一臺小型旋片泵，便是保持泵。

事實上簡略的真空體系只是能取得一個粗真空，而想要取得高真空時，一般在真空體系中串聯一個高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是取得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之后，一般要在高真空泵的進口和出口別離加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油分散泵，為了避免大量的油蒸氣返流進入被抽容器，一般在油分散泵的進口加一個捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵進口放氣閥，散熱器等等，這樣就構成了一個較完善的高真空體系。